（1）不稳定的冲突所引起：如指针、摆锤轴承不灵活，作业活塞和测力活塞有冲突。可仔细检查，清洗修整，消除冲突排除故障。
（2）带动测力活塞转动的皮带脱落。挂上皮带即可。
（3）三次元测量仪缓冲阀绷簧失效。排除方法配换绷簧。
（4）用油粘度过大。需求替换粘度适合的油排除故障。
（5）齿杆弯曲。则需求校直或替换齿杆。（6）三坐标测量仪齿杆与齿轮啮合不良或齿杆与上面的绷簧片碰擦。可通过调整齿杆与齿轮的啮合及绷簧片的方位排除。
（7）三次元测量机工作台上的导轮与立柱碰擦。可通过调整导轮与立柱的空隙，坚持大约0.5mm空隙排除故障。
